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  • 為真空而生

    專(zhuān)(zhuān)注真空泵與系統設計制造16年

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    電子工業(yè)(yè)行業(yè)(yè)-真空泵
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    電子工業(yè)(yè)行業(yè)(yè)-真空泵

    文章出處:電子工業(yè)(yè)行業(yè)(yè)-真空泵 網(wǎng)(wǎng)站編輯: 雅之雷德 閱讀量: 發(fā)(fā)表時(shí)(shí)間:2020-08-15 16:08:27

    電子工業(yè)(yè)應用介紹

    Application Introduction

    關(guān)(guān)于電子工業(yè)(yè)應用

    電子產(chǎn)(chǎn)品屬于現代日常生活,沒(méi)(méi)有它想象生活不再是可能的。 電腦、智能手機、汽車(chē)(chē)、家居控制設備、醫療設備及其他的高集成電路都基于半導體技術(shù)(shù)。


    優(yōu)(yōu)勢

    市場(chǎng)(chǎng)由現代通信工具驅動(dòng)(dòng),如智能手機、平板電腦、電視平板顯示器或或物聯(lián)(lián)網(wǎng)(wǎng)。無(wú)(wú)論是離子注入機、刻蝕還是PECVD設備 — 好凱德將為您找到高質(zhì)(zhì)量和高可靠性真空解決方案,以獲得最佳性能。


    半導體加工

    市場(chǎng)(chǎng)由現代通信工具驅動(dòng)(dòng),如智能手機、平板電腦、電視平板顯示器或或物聯(lián)(lián)網(wǎng)(wǎng)。無(wú)(wú)論是離子注入機、刻蝕還是PECVD設備 — 好凱德將為您找到高質(zhì)(zhì)量和高可靠性真空解決方案,以獲得最佳性能。我們繼續革新領(lǐng)(lǐng)先技術(shù)(shù)解決方案,這些解決方案將會(huì )(huì )提升制程正常運轉時(shí)(shí)間、產(chǎn)(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平,同時(shí)(shí)通過(guò)(guò)減輕不利于環(huán)(huán)境的排放、延長(cháng)(cháng)產(chǎn)(chǎn)品使用壽命并降低持續服務(wù)(wù)成本,努力協(xié)(xié)調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

    ◆  平版印刷

    平版印刷(即晶圓的圖案形成)是半導體 制程中的一個(gè)(gè)關(guān)(guān)鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷一般不需要真空環(huán)(huán)境,但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空泵。Hokaido可以讓您有效應對這兩種應用。

    ◆ 化學(xué)(xué)氣相沉淀

    化學(xué)(xué)氣相沉淀(CVD)系統具有多種配置用于沉積多種類(lèi)(lèi)型的薄膜。制程還以不同的壓力和流量狀態(tài)(tài)運行,其中的許多狀態(tài)(tài)都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著(zhù)(zhù)您需要咨詢(xún)(xún)我們的應用工程師之一來(lái)(lái)選擇適當的泵和氣體減排系統以便最大程度地延長(cháng)(cháng)我們產(chǎn)(chǎn)品的維修間隔并延長(cháng)(cháng)您制程的正常運行時(shí)(shí)間。

    ◆ 刻蝕

    由于許多半導體的特征尺寸非常精細,刻蝕制程變得越來(lái)(lái)越復雜。此外,MEMS設備和3D結構的擴增對于具有高縱橫比的結構越來(lái)(lái)越多地使用硅刻蝕制程。傳統上來(lái)(lái)說(shuō)(shuō),可以將刻蝕制程分組到硅、氧化物和金屬類(lèi)(lèi)別。由于現今的設備中使用更多硬遮罩和高k材料,這些類(lèi)(lèi)別之間的界限已經(jīng)(jīng)變得非常模糊?,F今的設備中使用的某些材料能夠在刻蝕過(guò)(guò)程中頑強地抵抗蒸發(fā)(fā),從而導致在真空組件內沉積。如今的制程確實(shí)(shí)變得比數年前更具有挑戰性。我們密切關(guān)(guān)注行業(yè)(yè)和制程變化并通過(guò)(guò)產(chǎn)(chǎn)品創(chuàng )(chuàng )新與其保持同步,從而實(shí)(shí)現一流的性能。

    ◆ 離子注入

    離子注入工具在前段制程中仍然具有重要的作用。與離子注入有關(guān)(guān)的真空挑戰并未隨著(zhù)(zhù)時(shí)(shí)間的推移而變得更加容易,而且我們認識到了在嘈雜的電子環(huán)(huán)境中操作真空泵時(shí)(shí)所面對的挑戰。我們從未滿(mǎn)(mǎn)足于絕對最低性能測試符合既定的電磁抗擾性測試標準。我們知道,注入工具上使用的泵將需要更高的抗擾性和特別的設計特性,以確保注入工具的高電壓段不會(huì )(huì )干擾泵的可靠性。

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